3d基本走势图:大面積光刻機

  • 產品型號:Model 212
  • 制造原廠:OAI INSTRUMENTS

福建体彩36选7走势图 www.xuspz.icu Model 212大面積光刻機是一款性價比高、性能優良的臺式光刻機,它只需要占用極小的潔凈室空間,為大尺寸晶圓、LCD、薄膜晶體管、FPD和OLED的研發提供了一種經濟型選擇。利用OAI創新的真空平臺,支持大尺寸產品(最高可達12'x12 '或300mm×300mm)快速、輕柔地懸浮起來,以便在曝光時進行光掩模對齊和均勻接觸。該系統具有1微米分辨率和對齊能力。

校準??櫚奶氐閌茄諛2迦肟燜倏篩瘓г?,使用各種襯底和面罩無需特殊工具。Model 212型大面積光刻機的特點是經過驗證的OAI紫外光源,它在近、中、深紫外光中使用200 - 2000瓦功率的燈具提供高分辨率紫外光。雙傳感器光學反饋回路連接到恒光強控制器,以控制曝光強度在期望強度的2%以內。

特點:

  • 低成本的大型晶圓研發工具

  • 一種多功能的工具,可以容納較小的襯底和面具-易于升級為更大的襯底

  • 用于封裝、FPD、OLED、半導體晶圓研發

  • 與OAI Model 200桌上型光刻機規格相同

襯底尺寸


最大12” or 300mm

襯底平臺

X, Y行程

±10mm


Z 行程

5mm


千分尺

.001”; .0001”

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