福彩双色球走势:全自動膜厚測試儀

  • 產品型號:NanoSpec II
  • 制造原廠:Nanometrics Inc.

福建体彩36选7走势图 www.xuspz.icu NanoSpec II沿襲了業界公認的NanoSpec 6100的范圍和性能,具有自動化樣品對齊的新設計,快速自動對焦,每站點測量時間小于1秒,測量重復性優于1?。 

對于現有的6100客戶,NanoSpec II將提供一個直觀的配方傳輸系統,為所有測量配方提供全面的后向兼容性。

該系統可與Nanometrics強大的NanoDiffract?光譜反射率結合使用分析軟件,用于自動圖案對齊的圖像處理和可選的機器人200mm,晶圓處理系統,使NanoSpec II成為同類中最強大的薄膜系統。


可選功能

?帶15倍鏡頭的UV波長范圍選項

?30nm - 120μm厚膜選件 - 包括具有15X透鏡和20μm光斑的高分辨率430-730 nm光譜儀

?NanoDiffract SR分析,具有全堆疊多層和光學常數變化監測

?基于Matrox的圖像處理自動化圖案晶圓對齊

?潔凈室操作手冊(硬拷貝)

?NanoStandard?薄膜厚度標準晶圓(6或8英寸)

  • 光譜范圍 200nm – 800nm

  • 膜厚測試范圍 35?-20um

  • 光斑大小 14um

  • 膜厚測試動態重復性

    3.5-10nm <1?

    10nm-100nm <0.8?
    100nm-500nm <0.08%
    500nm-20um <0.05%

  • 膜厚測試精度
    100-200? ±5?
    300?-1um ±0.5%
    1um-20um ±0.2%

  • 反射率精度
    248nm ±0.5%
    365nm ±0.5%
    633nm ±0.5%
       


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